45：机台启停、断电、重启全流程规范与故障处理

45：机台启停、断电、重启全流程规范与故障处理

一、本课学习目标

1. 掌握机台正常停机、紧急停机、断电重启的标准操作流程
2. 梳理不同场景下EAP、HSMS/SECS链路、数据上报的联动变化
3. 识别停机/重启后常见遗留故障、链路异常、数据异常问题
4. 明确操作红线，规避误操作引发的批量生产问题
5. 建立断电、重启后的快速恢复排查思路

二、停机分类与应用场景

1. 正常计划停机

日常保养、换品、班次交接、计划性维护，提前结束工单，有序停机。

2. 临时手动停机

单批次异常、临时检查设备，不涉及整机断电。

3. 紧急停机（EPO）

重大安全隐患、设备卡机、火灾等突发状况，立即切断动力与控制回路。

4. 意外断电

电网波动、线路故障、跳闸，整机无预警掉电。

三、场景1：正常计划停机（标准流程）

步骤1：工单收尾

1. 等待当前批次加工完成，机台状态回到IDLE
2. 确认S6F13上报Lot End完工事件，MES工单闭环
3. 停止Trace数据采集（S6F11停止上报）

步骤2：停止自动化控制

1. 机台由REMOTE远程切为LOCAL本地模式
2. EAP下发正常断开指令，设备主动发送Deselect报文
3. HSMS会话关闭，EAP设备状态变为OFFLINE

步骤3：设备本体停机

1. 依次停止腔体、气路、真空、传输机构
2. 关闭机台应用程序、PLC控制系统
3. 按需关闭设备总电源、气源、水路

停机后状态

• EAP：链路断开，停止所有报文收发与数据转发
• 机台：本地可手动操作，GEM/HSMS服务停止

重启恢复流程

1. 按上电顺序依次启动硬件、PLC、主控软件，等待自检完成
2. 确认HSMS/SECS服务自动启动并进入监听状态
3. EAP执行重连，完成TCP建链→HSMS会话→S1F1握手→校时全流程
4. 核对报警、事件、数据订阅正常，切REMOTE模式，恢复生产

四、场景2：运行中临时手动停机

操作流程

1. 下发Stop指令，当前工艺立即终止，设备由RUN转为IDLE
2. 自动停止S6F11工艺数据上报，记录停机事件S6F13
3. 保留HSMS/SECS通信链路，设备仍保持ONLINE状态
4. 可在LOCAL模式下做简单检查，无需断电

恢复流程

1. 检查无异常、无激活报警
2. 切回REMOTE，直接下发Start指令继续生产，无需重新下载配方

常见小问题

停机后状态缓存异常，EAP界面状态不刷新：触发一次S1F13查询状态即可修复。

五、场景3：紧急停机 EPO（安全最高优先级）

现象与联动

1. 按下EPO急停按钮，硬件回路强制切断，腔体、传动立即锁死
2. 机台瞬间触发Fatal致命报警（S5F1），状态跳转ERROR
3. 网络、控制软件短时正常，通信链路暂时保持
4. 所有自动化指令全部被锁定，拒绝Load/Start等操作

恢复标准步骤

1. 排查并解除安全隐患，复位物理EPO按钮
2. 逐一清除所有激活报警与硬件联锁
3. 整机执行硬件复位，机构回归原点
4. 确认机台自检正常、条件满足
5. EAP侧确认链路正常，下发复位指令，状态回到IDLE
6. 核对配方、点位、数据上报正常后再启动生产

风险点

EPO频繁触发易导致控制器进程异常、配置缓存错乱，必要时重启机台软件。

六、场景4：意外断电 & 跳闸

断电瞬间现象

1. 整机硬件、控制器、网卡全部掉电，TCP链路强制断开
2. EAP检测链路丢失，持续自动重连，设备显示OFFLINE
3. 未完成的报文、缓存数据全部丢失，批次记录中断

上电重启恢复流程

1. 恢复供电，等待机台完整上电、硬件自检、主控软件加载完成

   重点：严禁自检未完成就强制重连EAP

2. 确认HSMS/SECS服务正常启动、进入监听
3. EAP自动/手动发起重连，走完完整联机流程
4. 核查异常项：
   • 历史报警是否残留、是否需要手动清报警
   • 配方是否丢失、变量状态是否正常
   • CEID/ALID/Trace订阅是否生效
5. 清空中断批次标记，重新下发工单恢复生产

七、停机/重启后高频故障及排查

故障1：重启后无法联机，一直OFFLINE

1. 机台HSMS/SECS服务未自动启动，手动重启对应服务
2. 断电导致网络配置重置，核对设备IP、端口
3. 临时防火墙规则生效，放行通信端口

故障2：联机成功，但历史报警无法清除

断电造成报警状态缓存异常。在机台面板执行全局复位，同步EAP缓存。

故障3：重启后配方丢失/配方错乱

1. 设备存储异常，重启后本地配方被清空
2. 解决：重新下载标准Recipe，并做参数比对

故障4：联机正常，但无事件、无工艺数据

断电后GEM订阅配置丢失。重新重载EAP点位订阅，或重启机台GEM服务。

故障5：断连重连后T3超时变多

机台控制器刚启动，负载偏高、响应变慢。等待3~5分钟系统稳定再下发指令，或临时调高T3时长。

八、量产操作红线与规范

1. 整机断电前必须先结束当前工单、切LOCAL、断开通信，禁止直接带电拔电源。
2. RUN运行状态严禁执行整机重启、断电操作，易造成机构卡滞、晶圆报废。
3. EPO紧急停机解除后，必须逐项检查硬件与联锁，不可直接强行启动。
4. 意外断电恢复后，优先核对数据、配方、报警状态，再投入量产。
5. 设备批量重启错开时间，避免网络瞬时压力过大引发集体断连。

九、本课核心总结

1. 计划停机有序收尾工单再断电；临时停机保留通信链路；EPO强制锁机并触发致命报警。
2. 意外断电会造成报文、缓存、临时状态全部丢失，属于高风险场景。
3. 重启后故障优先排查：机台服务 → 网络配置 → 缓存状态 → 订阅配置。
4. 任何停机操作都要先终结生产批次，再操作硬件与通信。
5. 自检未完成不要急于重连EAP，防止服务卡死。

十、课后小作业

1. 简述正常计划停机完整操作步骤。
2. EPO急停后设备会出现哪些联动变化？
3. 意外断电重启后收不到事件数据，如何处理？
4. 为什么RUN状态下禁止直接断电重启？
5. 机台重启后联机慢、频繁T3超时是什么原因？