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137-2866-5346污染类型 | 易污染对象 | 污染原因 | 备注 |
膜后不可去小白点 | 镀膜前wafer | 少量微颗粒膜前附着到wafer上。镀膜时SIN层没能渡到wafer表面，造成小白点。 | 产生不良片 |
氮气不清洁（没装氮气过滤器），吹出白色微小颗粒。 | 产生不良片 | ||
膜后可去掉小白点 | 膜后wafer | 氮气不清洁，吹出白色颗粒（可吹掉），膜后附着到wafer上。 | 可吹掉，产生一定量不良片 |
膜后微颗粒附着到wafer上（可吹掉）， | 可吹掉，产生量少不良片 | ||
白色，灰白色雾状附着物 | 气流片（wafer） | 特气管道残遇硅烷（浓度很低），随氮气冲出。在石墨舟出来的过程中造成明显的气流痕迹。 | 污染石墨舟（一般为白色，或者灰白色），产生大量不良片。 |
土灰色雪花状漂浮物 | 石墨舟，wafer | 硅烷羊角阀,流量计有漏（浓度较低），直接在炉门口燃烧，产生白色，灰色粉尘。 | 污染石墨舟，炉管，产生大量不良片。 |
污染类型 | 解决措施 | 预防措施 |
膜后不可去小白点 | 清理特气孔，吹扫特气管道 | 制作吹扫工艺，定期进行吹扫工艺；洁净，炉管及进出舟环境。 |
吹扫氮气管道，跟换，安装氮气滤芯。 | 购买氮气滤芯，定期更换氮气滤芯 | |
膜后可去掉小白点 | 吹扫氮气管道，清理，跟换，安装氮气滤芯。 | 购买氮气滤芯，定期更换氮气滤芯 |
清理特气孔，吹扫特气管道。 | 协助工艺去部掉出炉管15slm N2。洁净，进出舟环境。 | |
白色，黄色 | 发现有异常，及时停止制程，立即测试硅烷羊角阀，流量计，发现有漏。及时跟换羊角阀流量计。 | 发现类似情况及时停止工艺制程。更换相应备件。 |
雪花状漂浮物 | 发现有异常，及时停止制程，立即排查，流量计，羊角阀。如果 | 发现类似情况及时停止工艺制程。更换相应备件。 |
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