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?PECVD中RF 和VHF哪个更好

发布时间：2020-12-07 点击次数：6853

气体分子在外加射频场下被电离成对应的等离子体，按照射频施加频率的不同，可分为 RF-PECVD 和 VHF-PECVD 两种，其中 RF-PECVD 的频率一般为 13.56MHz，VHF-PECVD 的频率一般在 30-300MHz 之间。由于射频频率与电子和气体分子的碰撞几率成正相关关系，一定范围内升高射频频率，反应气体的分解速率将加快，短时间内产生大量反应活性基团，可提升薄膜的沉积速率；另一方面，高频场下腔室内的电子浓度增加、反应温度和直流自偏压降低，能够减小等离子体的离化程度以及轰击效应，且有利于生成更多的反应前驱物，保证了薄膜优质生长，薄膜缺更少、致密性更佳、电导率更高。

但是高频场极易导致更多非均匀源的出现，从而引发驻波、奇点等效应，膜面容易脱落或出现条纹，使得薄膜的均匀性变差；此外，由于甚高频下薄膜的沉积速率会大大增加，不利于沉积过程中对薄膜厚度的精准控制，同时薄膜厚度的增加也会导致透光率的降低。

PECVD用石墨舟

RF 镀膜均匀性好，VHF 高沉积速率提升产能

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