news 2026/4/16 18:42:09

晶圆级封装生产线封装装置多轴运动控制系统研究

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张小明

前端开发工程师

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文章封面图
晶圆级封装生产线封装装置多轴运动控制系统研究

1. 论文中文标题

《晶圆级封装生产线封装装置多轴运动控制系统研究》


2. 论文主要内容概括

本文针对晶圆级封装生产线中的核心设备——多轴驱动伺服压力机,开展运动控制系统研究。首先,根据晶圆封装工艺要求,设计了四轴同步驱动的伺服压力机机械结构与全闭环运动控制方案,完成了关键部件的选型。其次,为提高滑块运动平稳性,采用S曲线加减速算法;为提高位置跟踪精度,设计了基于模糊PID控制器的单轴位置控制模型。针对多轴同步问题,提出一种基于虚拟轴的改进型偏差耦合同步控制策略,在保证同步精度的同时简化了计算复杂度。最后,搭建实验平台验证了所提算法的有效性,为晶圆封装设备的自主研发提供了理论依据与实验支持。


3. 论文复现代码及解释

由于论文内容涵盖机械结构设计、运动控制算法、仿真与实验验证等多个方面,完整复现需包括机械建模、控制系统仿真、硬件实验等多个环节。以下将重点复现S曲线加减速算法基于虚拟轴的改进型偏差耦合同步控制算法,并提供MATLAB/Simulink仿真代码与解释。

3.1 S曲线加减速算法仿真(MATLAB)

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